夏黎和陆定远说完,就继续开始搞自己的科研。
她把平台做成了一个水平和垂直方向都可以移动的款式,然后把显微镜放在平台上,用来测量光掩膜和硅片间距离,让光刻时两者尽量靠近,但又不直接接触。
做完这一切,夏黎长长的松了一口气。
“包上吧,包完咱俩就回家睡觉。”
陆定远:“……好。”
二人一起,手脚麻利的给光刻机“穿上皇帝的新装”。
再抬头,天都快亮了。
二人不禁在心里长叹口气,迅速撤离。
回去的路上,陆定远询问夏黎。
“你是觉得今天这种改良方案也不行?
如果单纯从不沾灰的角度讲,通过掩模垂直透光,应该很容易能达到你想要的效果。”
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